반도체
나노 FAB센터
비메모리 반도체 기반 센서 기술개발
나노소재실험실
에어샤워실
증착실
측정실
포토공정실
화학실험실
나노 FAB실 기술개발 장비 현황
Sputter
박막 증착 기술을 사용하여 얇은 층을 형성하는 장비입니다. 이 장비에서는 고에너지 입자(일반적으로 이온)를 이용하여 고체 물질의 표면에서 입자를 제거하고 그것이 다른 표면에 증착되어 얇은 박막을 생성합니다.
Thermal Evaporator
물질을 가열하여 증발시키는 장비로, 이를 통해 기판이나 다른 표면에 얇은 박막을 형성하는 기술을 사용합니다. 소스 물질을 가열하여 그 물질이 기판에 증착되어 얇은 박막을 형성하는 과정을 담당하는 장비입니다.
Screen Printer
특정 패턴이나 전극을 인쇄하는 기술입니다. 이렇게 함으로써 센서에 필요한 디자인이나 전극을 정교하게 적용할 수 있습니다. 스크린 프린팅은 생산성이 높고 비용 효율적인 방법으로 다양한 센서 제조에 활용됩니다.
Slot-die Coater
얇은 막을 특별한 부표면에 동일하게 코팅하는 데 사용되는 장비입니다. 이는 주로 산업 및 연구 분야에서 얇은 박막 코팅이 필요한 다양한 응용 프로그램에 사용됩니다. 연속적으로 작업이 가능하며 정확한 코팅 두께를 유지할 수 있어서 효율적이고 정확한 공정을 지원합니다.
Probe Station
반도체나 전자 소자 등의 특정 소자나 장치를 테스트하거나 측정하기 위한 장비입니다. 기본적으로 프로브 스테이션은 작은 샘플이나 소자를 안정적으로 위치시키고, 특수한 프로브 카드 또는 바늘을 통해 전기적인 연결을 수행합니다. 이를 통해 전압, 전류, 저항, 용량 등의 전기적 특성을 측정하거나 광학적인 특성을 조사할 수 있습니다.
Mask Aligner
감광액(PR : Photo Resist)이 도포된 반도체용 웨이퍼나 유리기판위에 회로가 그려진 포토 마스크를 올려놓고 UV를 조사함으로써 미세 패턴을 얻을 수 있는 Optical Lithography 장비입니다. 정밀 얼라인먼트가 가능하여 터치스크린 패널, 평판 디스플레이, MEMS/Bio-MEMS, LED 등의 정밀정렬 및 Patterning에 응용 가능합니다.
